Пособие содержит основные сведения по метрологическому обеспечению различных технологических операций в сфере наноиндустрии. Рассмотрены становление в XX – XXI вв. и концепции развития нанометрологии. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям – поверке и калибровке сканирующей зондовой микроскопии.
Изложены организационные принципы нанометрологии в России. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и основные направления их исследований в данной области.
Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих вопросы нанотехнологии, а также может быть полезно инженерно-техническим работникам, связанным с проблемами наноиндустрии
