Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Монография посвящена новому направлению в современной оптике и микроэлектронике, связанному с изучением фотонных кристаллов структурно упорядоченных сред с масштабом периодичности, соразмерным длине волны электромагнитного излучения. Представлены результаты исследований коллектива авторов, выполненных в рамках интеграционного проекта СО РАН в 2006-2008 гг. Объектами теоретических и экспериментальных исследований явились различные фотонно-кристаллические структуры (опалы, мультислойные среды, упорядоченные микрокомпозиты и наноколлоиды, микрополосковые структуры), материалы и технологии для их формирования, методы управления оптическими и диэлектрическими свойствами.
Книга предназначена специалистам по оптике, лазерной технике, спектроскопии конденсированных сред, материаловедению, нанофотонике, СВЧ-электронике, а также преподавателям и аспирантам соответствующих специальностей.
Рассматриваются различные методы сканирующей зондовой микроскопии и их применение в нанотехнологии и диагностике.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника», магистерским образовательным программам «Нанотехнология и диагностика», «Нано- и микросистемная техника» и 210600 «Нанотехнология». Также может служить для повышения квалификацииЬпреподавателей и научных работников.
В монографии рассмотрены особенности реализации программноцелевых документов в области развития наноиндустрии в России и за рубежом. На основе изученного опыта предложены рекомендации по формированию региональной экономической политики развития нанотехнологий, наноиндустрии и ее инфраструктуры. Проведена оценка уровня развития наноиндустрии в регионах России на основе предложенной экспертной методи ки. Описан механизм реализации региональной экономической нанотехнологической политики.
Книга может быть интересна ученым, руководителям предприятий, представителям региональной власти и муниципального управления.
В книге анализируется процесс становления нового технологического уклада в мировом технико-экономическом развитии. Делается попытка обосновать целостное видение процесса современного развития глобальной и российской экономики в единстве технологического, макроэкономического и управленческого аспектов. На основе анализа динамики 12 индикаторов развития нанотехнологий и комплекса технологически сопряженных производств в различных странах показана ключевая роль нанотехнологии в этом процессе. Даются оценки уровня развития нового технологического уклада в российской экономике. Показано, что для вхождения России в число передовых стран в области нанотехнологий потребуется удвоение финансовых вложений и удвоение производства нанопродукции каждые 2 – 3 года. В книге использованы результаты, полученные авторами при работе в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007 – 2012 годы».
Монография посвящена актуальной проблеме поиска и исследования свойств новых материалов для наиболее перспективной в настоящее время области науки и техники нанотехнологии, и в особенности наноэлектроники.
Книга предназначена для научных сотрудников, аспирантов и студентов физических, физико-химических и инженерных специальностей, в особенности специализирующихся по направлению «Нанотехнологии».
В учебном пособии приведена классификация наноразмерных структур, проанализированы их свойства. Обобщены сведения о проявлении размерных эффектов в физических, механических, термических и других свойствах наноструктурных материалов. Рассмотрены основные методы получения изолированных наночастиц, ультрадисперсных порошков, компактных нанокристаллических, нанопористых и аморфных материалов, фуллеренов, нанотрубок, а также нанострктурных покрытий. Кратко описаны методы исследований наноструктурных материалов. Изложены современные представления о формировании наноструктурных, нанокомпозитных покрытий ионно-плазменными методами осаждения. Показаны возможности применения наноструктурных материалов и покрытий в технике. Для студентов, аспирантов и научных работников.
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и на нотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
Настоящее издание является частью электронного учебно-методического комплекса по дисциплине «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники», включающего учебную программу дисциплины, лабораторный практикум, пособие по курсовой работе, методические указания по самостоятельной работе, контрольно-измерительные материалы «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Банк тестовых заданий», наглядное пособие «Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники. Презентационные материалы».
В данном издании представлены материалы, отражающие современное состояние микро- и наноэлектроники, а также перспективы развития этих отраслей.
Предназначен для студентов направления подготовки магистров 210100.68 «Электроника и микроэлектроника» укрупненной группы 210000 «Электроника, радиотехника и связь», а также может быть использован всеми интересующимися электроникой и наноэлектроникой.
В первой части книги излагаются основные вопросы физики твердотельных систем пониженной размерности, последовательно рассматриваются особенности энергетического спектра частиц, транспортных и оптических свойств и процессы переноса частиц в различных квантово-размерных структурах.
Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников соответствующего профиля, а также для студентов технических университегов.
