Статья: Контролируемое формирование слоев графена термодеструкцией SiC в потоке атомов железа (2018)

Читать онлайн

В работе проведено исследование влияния потоков атомов железа на формирование слоев графена на поверхности монокристаллов карбида кремния в процессе его вакуумной термодеструкции. Установлены скорости встречных потоков железа позволяющих формировать композитные графеновые слои различной структуры с внедренными атомами железа. Показано, что в отсутствие потоков железа в процессе вакуумной термодеструкции на поверхности карбида кремния формируется только многослойный графен (островки с линейными размерами 3–5 мкм) с разным содержанием дефектов.

The influence of iron fluxes on the formation of graphene layers at the surface of silicon carbide single crystals in the process of its vacuum thermal destruction is studied. The velocities of counter iron fluxes that allow forming composite graphene layers of different structures with embedded iron atoms are established. It is shown that, in the absence of iron fluxes, only multilayer graphene (islets with linear dimensions of 3–5 μm) with different defect content is formed on the surface of silicon carbide during the vacuum thermal destruction.

Ключевые фразы: карбид кремния, графен, термодеструкция
Автор (ы): Буташин Андрей Викторович, Муслимов Арсен Эмирбегович, Каневский Владимир Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.016. Оптические явления, зависящие от свойств поверхностей раздела
539.231. механическим путем, например напылением
eLIBRARY ID
35193314
Для цитирования:
БУТАШИН А. В., МУСЛИМОВ А. Э., КАНЕВСКИЙ В. М. КОНТРОЛИРУЕМОЕ ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ГРАФЕНА ТЕРМОДЕСТРУКЦИЕЙ SIC В ПОТОКЕ АТОМОВ ЖЕЛЕЗА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №3
Текстовый фрагмент статьи