Статья: Комбинация емкостного высокочастотного разряда и разряда постоянного тока для использования в плазменном ускорителе с замкнутым дрейфом электронов. Часть II. Функции распределения ионов по энергиям (2018)

Читать онлайн

Экспериментально исследованы функции распределения ионов по энергиям на выходе из гибридного разряда, основанного на комбинации емкостного ВЧ-разряда и разряда постоянного тока, в источнике плазмы с геометрией ускорителя с замкнутым дрейфом электронов. Показано, что наличие постоянного смещения активного электрода сопровождается увеличением энергии и плотности ионов на срезе ускорителя. Изменение мощности, вводимой в разряд через ВЧ-канал, и величины постоянного смещения, подводимого к активному электроду через канал постоянного тока, позволяют независимо управлять энергией и плотностью потока ионов.

Ion energy distribution functions in ion beam produced by combined DC-RF discharge ion source with a geometry of a closed electron drift accelerator are experimentally investigated. It is shown that the presence of constant voltage bias of an active electrode leads to an increase in ion energy and density in accelerator exit plane. By varying power input through RF channel and voltage bias of an active electrode through DC channel an independent control of ion energy and density can be achieved.

Ключевые фразы: высокочастотный разряд, холловский источник ионов, ускоритель с замкнутым дрейфом электронов
Автор (ы): Задириев Илья Игоревич, Кралькина Елена Александровна, Вавилин Константин Викторович, Швыдкий Георгий Вячеславович, Александров Андрей Фёдорович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.525. Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды
eLIBRARY ID
35193301
Для цитирования:
ЗАДИРИЕВ И. И., КРАЛЬКИНА Е. А., ВАВИЛИН К. В., ШВЫДКИЙ Г. В., АЛЕКСАНДРОВ А. Ф. КОМБИНАЦИЯ ЕМКОСТНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА И РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ПЛАЗМЕННОМ УСКОРИТЕЛЕ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ. ЧАСТЬ II. ФУНКЦИИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОНОВ ПО ЭНЕРГИЯМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №3
Текстовый фрагмент статьи