Статья: Температурные зависимости парциальных давлений компонентов газовой фазы над расплавами системы Al-N (2018)

Читать онлайн

В настоящей работе с использованием методики термодинамического моделирования и программного комплекса TERRA проведено исследование температурных зависимостей парциальных давлений компонентов газовой фазы, образующейся над расплавами системы Al-N. Построены температурные зависимости парциальных давлений компонентов газовой фазы. Показано, что с ростом температуры парциальные давления всех компонентов газовой фазы над расплавами Al-N увеличиваются и могут быть описаны линейными зависимостями.

At the presented paper, the investigation of temperature dependences of the partial pressures of the gas phase components of Al-N system was carried out using the thermodynamic modeling method and TERRA software. The temperature dependence of logarithm of the partial pressure of the gas phase components were constructed. It was shown that with temperature increase the partial pressures of all components increases and can be described by linear dependencies.

Ключевые фразы: полупроводниковые материалы, АЛЮМИНИЙ, азот, ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, расплав, свойства
Автор (ы): Ильиных Нина Иосифовна, Малкова Ирина Андреевна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
544.344.2. Двухкомпонентные (бинарные, двойные) системы
eLIBRARY ID
35193309
Для цитирования:
ИЛЬИНЫХ Н. И., МАЛКОВА И. А. ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ЗАВИСИМОСТИ ПАРЦИАЛЬНЫХ ДАВЛЕНИЙ КОМПОНЕНТОВ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НАД РАСПЛАВАМИ СИСТЕМЫ AL-N // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №3
Текстовый фрагмент статьи