Архив статей

Мегапиксельное матричное фотоприёмное устройство среднего ИК-диапазона (2018)
Выпуск: Том 6, №6 (2018)
Авторы: Базовкин Владимир Михайлович, Варавин Василий Семенович, Васильев Владимир Васильевич, Глухов Александр Викторович, Горшков Дмитрий Витальевич, Дворецкий Сергей Алексеевич, Ковчавцев Анатолий Петрович, Макаров Юрий Сергеевич, Марин Денис Викторович, Мжельский Иван Викторович, Половинкин Владимир Григорьевич, Ремесник Владимир Григорьевич, Сабинина Ирина Викторовна, Сидоров Юрий Георгиевич, Сидоров Георгий Юрьевич, Строганов Александр Сергеевич, Царенко Алексей Викторович

Рассмотрены параметры средневолнового инфракрасного фотоприемного устройства, изготовленного в виде гибридной микросхемы на основе фокальной матрицы планарных n+–pпереходов HgCdTe с числом 20482048 элементов и кремниевого мультиплексора. Температурная зависимость обратного тока элементов в диапазоне 125–300 К имела характерную зависимость Аррениуса с энергией активации близкой к ширине запрещенной зоны полупроводника и лимитировалась диффузионной компонентой тока. При более низкой температуре ток лимитировался генерацией носителей с участием глубокого уровня локализованного вблизи середины запрещенной зоны. Гистограмма обнаружительной способности элементов матрицы имела вид симметричной кривой с максимумом и средним значением  1,31012 см Гц1/2/Вт.

Сохранить в закладках
Матричное фотоприемное устройство формата 640512 элементов на основе HgCdTe для средневолнового ИК-диапазона (2019)
Выпуск: Том 7, № 2 (2019)
Авторы: Марчишин Игорь Владимирович, Сидоров Георгий Юрьевич, Дворецкий Сергей Алексеевич, Сабинина Ирина Викторовна, Варавин Василий Семенович, Ремесник Владимир Григорьевич, Предеин Александр Владиленович, Васильев Владимир Васильевич, Сидоров Юрий Георгиевич, Марин Денис Викторович, Ковчавцев Анатолий Петрович, Латышев Александр Васильевич

Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ на основе полупроводникового твердого раствора HgCdTe на подложках из кремния форматом 640×512 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности 5 мкм по уровню 0,5. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные мультиплексоры форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 10 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 640512 элементов с шагом 25 мкм. Лучшие образцы ФПУ характеризуются следующими параметрами: средняя величина NETD < 13 мК, количество работоспособных элементов > 99,5 %.

Сохранить в закладках