Представлены экспериментальные данные о параметрах плазмы и о составе газообразных продуктов при обработке пленки поликарбоната в плазме пониженного давления (50–300 Па) в кислороде. Анализ газовой фазы проводили методами эмиссионной спектроскопии и массспектрометрии. При различной площади обрабатываемого материала измерена напряженность электрического поля и температура газа на оси разряда, мольные доли продуктов деструкции полимера. Рассчитана функция распределения электронов по энергиям. Показано, что с увеличением площади обрабатываемого материала в реакторе изменяется приведенная напряженность электрического поля, температура газа, средняя энергия электронов и коэффициенты скоростей процессов с участием электронов.
Experimental data on plasma parameters and gaseous products composition at the treatment of polycarbonate film in low pressure (50–300 Pa) oxygen plasma are represented. Optical emission spectroscopy and mass-spectrometry methods were used for gas phase analysis. Electric field strength and gas temperature at the discharge axis and mole fractions of polymer destruction products were measured at different square of material been treated in the reactor. Electron energy distribution function was calculated. Reduced electric field strength, gas temperature, average electron energy and rate coefficients for electron assisted processes have been shown to change with the growth of polymer square in reactor.
Предпросмотр статьи
Идентификаторы и классификаторы
- SCI
- Физика
- eLIBRARY ID
- 32576468
