Книга: Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок

Рассмотрена методика локального микроанализа элементного состава тонких объектов (пленок) и идентификации микрофаз вещества по характеристическим рентгеновским спектрам. Этот метод позволяет проводить комплексное изучение электронномикроскопических объектов и в настоящее время выделился в самостоятельное направление — электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Область применения метода весьма широка и разнообразна: это металлургия, полупроводниковая электроника, минералогия, биология и т. д. Рассмотрена аппаратура, применяемая для микроанализа тонких пленок, и даны рекомендации по технологии приготовления объектов.

Книга рассчитана на инженерно-технических работников — физиков и металловедов, занимающихся исследованием тонких пленок, микроструктуры тонких слоев и микрочастиц вещества. Может быть полезна студентам соответствующих вузов.

Информация о документе

Формат документа
PDF, DJVU
Кол-во страниц
242 страницы
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о книге

Издательство
Металлургия
Год публикации
1977
Автор(ы)
Васичев Б. Н.
Библиографическая запись

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок. Васичев Б. Н. М., «Металлургия», 1977. 240 с.