Статья: Травление внутренней поверхности металлической трубки в разряде, поддерживаемым электронным пучком

Скачать

Приведены экспериментальные результаты измерения скорости травления внутрен-ней стенки металлической трубки при наличии в трубке разряда, поддерживаемого инжектируемым электронным пучком. При токах разряда 50–200 мА скорость трав-ления повышается в интервале 10–30 нм/мин.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Бурдовицин Виктор
Лицензия: —
Доступ: Всем
Просмотров: 9

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Префикс DOI: 10.51368/1996-0948-2023-6-23-27
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2023
Автор(ы): Бурдовицин В., Карпов К., Окс Е., Нгон А. К.
Ключевые фразы: форвакуумный электронный источник, узкая металлическая трубка, инжекция электронного пучка, газовый разряд, ионное травление
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.563. Способы ионизации газов