Статья: Исследование чувствительности тонких пленок ITO к адсорбированным на их поверхности химическим веществам

Приведены результаты исследований чувствительности тонких пленок из оксидов индия-олова (ITO) к адсорбированным на их поверхности углеводородам различных концентраций. Показано, что тонкие низкоомные пленки ITO могут многократно ис-пользоваться в качестве детекторов газов, а их чувствительность на детектируемые газы практически не зависит от температуры нагрева структуры. Обнаружено, что дополнительное облучение газовых сенсоров на основе пленок ITO УФ-излучением спо-собствует значительному повышению их чувствительности к адсорбирующимся ве-ществам.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-6-72-77
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
2023
Автор(ы)
Жидик Ю., Жук К., Иванова А., Мостовщиков А., Майкова А. В., Кузьмин А. С.
Каталог SCI
Физика

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2025 год.