Книга: ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Скачать

Учебное пособие «Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем» охватывает разделы: рост кристаллов и подготовка подложек, окисление, диффузия, эпитаксия, литография, рост тонких пленок, общие закономерности технологии интегральных микросхем, сборка и контроль качества полупроводниковых

приборов и интегральных микросхем. Пособие разработано на основе курса лекций, читаемых в течение ряда лет на инженерно-физическом факультете высоких технологий.

Рекомендуется для студентов и инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 333 страницы
Загрузил(а): Афонин Сергей
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о книге

ISBN: 9785888665305
Издательство: УлГУ
Год публикации: 2015
Автор(ы): А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов
Библиографическая запись: Физические основы технологии полупроводниковых
приборов и интегральных микросхем : учебное пособие /
А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов. – 2-е изд., перераб. и
доп. – Ульяновск : УлГУ, 2015. – 423 с.
Ключевые фразы: полупроводники, микросхемы
Каталог SCI: Физика
ББК: 22.379.2. Физика полупроводников
УДК: 537.311.322. в полупроводниковых материалах
539.219.3. Диффузия в твердых телах

Статистика просмотров

Статистика просмотров книги за 2025 год.

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.