Книга: Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем

Скачать

Рассмотрены электрохимические и химические процессы модифицирования поверхности и нанесения покрытий в технологии создания наноструктур. Особое внимание уделено процессам анодного окисления и растворения и катодного осаждения материалов, формирования пористых наноструктур. Отдельная лекция посвящена химическому методу формирования полупроводниковых соединений из водных растворов. Представлены различные способы применения низкотемпературных процессов в технологии формирования полупроводниковых структур.

Разработан для основной образовательной программы подготовки магистров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».

Предназначен для студентов, обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и наноэлектроника» и 150100 «Материаловедение и технология материалов».