Статья: Матричные фотоприемные устройства формата 384288 элементов для ИК-диапазона 8–10 мкм (2018)

Читать онлайн

Разработана конструкция и изготовлены матричные ФЧЭ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с длинноволновой границей чувствительности по уровню 0,5 около 9,5 мкм. Средняя величина R0А фотодиодов по всему массиву матрицы равна 100 Ом см2. Разработаны схема и топология, по которым изготовлены матричные высокоскоростные мультиплексоры форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм, обеспечивающие рабочие режимы на тактовой частоте до 20 МГц. Методом гибридной сборки на индиевых столбах изготовлено матричное ФПУ форматом 384288 элементов с шагом 25 мкм с параметрами: средняя величина NETD < 30 мК, количество работоспособных элементов > 97 %. Использование мезатравления для разделения отдельных фотодиодов снижает фотоэлектрическую связь и обеспечивает высокое пространственное разрешение матричного ФПУ, равное 11,25 штр/мм. Представлены примеры использования системы микросканирования для снижения дефектных пикселов в кадре изображения и/или увеличения формата кадров до 768576. Показано, что в результате использования микросканирования в тепловизионном канале на основе разработанного ФПУ при переходе к формату 768576 получено улучшение пространственного разрешения в 1,4 раза при одинаковой величине минимально разрешаемой разности температур (МРРТ), а МРРТ на частоте 0,44 мрад-1 уменьшается с 1,6 К до 0,9 К по сравнению с исходным форматом 384×288.

The 384×288 FPAs with 25 μm pitch and 9.5 μm cut-off wavelength were designed and fabricated. The mean R0А value across the whole array is 100 Ohm cm2. The circuit and topology were designed and high-speed 384×288 multiplexers with 25 μm pitch were fabricated, providing the operating mode on the clock frequency up to 20 MHz. By means of indium bumps hybrid assembly the 384×288 photodetector was fabricated with following parameters: mean NETD value <30 mK, the functional elements percent >97 %. The paper provides examples of micro-scanning system use for reduction of amount of defect pixels in the image frame and/or photodetector format upgrade to 768×576 elements. It is shown that use of the micro-scanning in the IR channel based on the designed photodetector at upgrading to the 768×576 format leads to the improvement of the space resolution by ratio 1.4 at the same value of minimal resolvable temperature difference (MRTD).

Ключевые фразы: ФЧЭ, КРТ, молекулярно-лучевая эпитаксия, топология, формат, ФПУ, кадровая частота, NETD, микросканирование, мррт, ПРОСТРАНСТВЕННОЕ РАЗРЕШЕНИЕ
Автор (ы): Зверев Алексей Вкиторович, Сусляков Александр Олегович, Сабинина Ирина Викторовна, Сидоров Георгий Юрьевич, Якушев Максим Витальевич, Кузьмин Валерий Давыдович, Варавин Василий Семенович, Ремесник Владимир Григорьевич, Макаров Юрий Сергеевич, Предеин Александр Владиленович, Горшков Дмитрий Витальевич, Дворецкий Сергей Алексеевич, Васильев Владимир Васильевич, Сидоров Юрий Георгиевич, Латышев Александр Васильевич, Кремис Игорь Иванович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
eLIBRARY ID
6213834
Для цитирования:
ЗВЕРЕВ А. В., СУСЛЯКОВ А. О., САБИНИНА И. В., СИДОРОВ Г. Ю., ЯКУШЕВ М. В., КУЗЬМИН В. Д., ВАРАВИН В. С., РЕМЕСНИК В. Г., МАКАРОВ Ю. С., ПРЕДЕИН А. В., ГОРШКОВ Д. В., ДВОРЕЦКИЙ С. А., ВАСИЛЬЕВ В. В., СИДОРОВ Ю. Г., ЛАТЫШЕВ А. В., КРЕМИС И. И. МАТРИЧНЫЕ ФОТОПРИЕМНЫЕ УСТРОЙСТВА ФОРМАТА 384288 ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ИК-ДИАПАЗОНА 8–10 МКМ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2018. ТОМ 6, №3
Текстовый фрагмент статьи