Статья: Многослойные интерференционные покрытия на основе слоёв кремния и двуокиси кремния на утоньшенных матричных фотоприемниках из InSb с повышенной механической прочностью и воспроизводимостью (2022)

Читать онлайн

Рассмотрены способы повышения механической прочности и воспроизводимости в конструкции двухспектральных утоньшенных матричных фотоприемников из InSb посредством напыления многослойных интерференционных покрытий на основе слоёв кремния и двуокиси кремния. Представлены результаты моделирования распределения механических напряжений и подавления погрешностей оптической толщины антиотражающих покрытий с различным количеством слоев. Получены экспериментальные образцы двухспектральных матричных фотоприемников, подтверждающие результаты моделирования.

The paper considers the methods of increasing in mechanical strength and reproducibility in the construction of the two-spectral of the thinning InSb FPA by means of spraying of multi-layer interference coatings on the basis of the layers of silicon and dioxide of silicon. The re-sults of the simulation of the distribution of mechanical stresses and suppression of errors in the optical thickness of the antireflecting coatings with different quantity of layers are repre-sented. Are obtained the experimental samples of two-spectral FPA, the confirmatory results of simulation.

Ключевые фразы: матричный фотоприемник (МФП), матричный фоточувствительный элемент (МФЧЭ), антимонид индия, кремний, двуокись кремния, прочность, воспроизводимость, моделирование, многослойные интерференционные покрытия, Focal Plane Array (FPA), indium antimonide, silicon, silicon dioxide, multilayer interference coatings, strength, reproducibility, the simulation
Автор (ы): Лопухин Алексей Алексеевич, Болтарь Константин Олегович
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.59. Проводники с особо высоким сопротивлением. Полупроводники
621.383.4. Фотоэлементы с внутренним фотоэффектом. Фоторезисторы
621.383.5. Фотоприемники с запирающим слоем
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2022-10-1-14-22
eLIBRARY ID
48049881
Для цитирования:
ЛОПУХИН А. А., БОЛТАРЬ К. МНОГОСЛОЙНЫЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СЛОЁВ КРЕМНИЯ И ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ НА УТОНЬШЕННЫХ МАТРИЧНЫХ ФОТОПРИЕМНИКАХ ИЗ INSB С ПОВЫШЕННОЙ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТЬЮ И ВОСПРОИЗВОДИМОСТЬЮ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2022. ТОМ 10 № 1
Текстовый фрагмент статьи